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關鍵詞：直壓法 差壓法 氫氣檢漏儀 氮氫檢漏儀

一、泄漏測試的各種技術比較

二、目前比較常見的泄漏測試方法

通常泄漏測試方法有：直壓法，差壓法，流量傳感器流量法，背壓流量檢測法，壓力/真空腔測量檢測，氦氣泄漏檢測等方法

以下分別描述各種方法的原理和特點：

1.直壓法－檢測操作過程是這樣的：對工件的被測容腔在一定壓力條件下（具體壓力參數(shù)由生產(chǎn)線檢測工藝規(guī)程決定）進行充氣、保持一定時間后，切斷被測工件和氣源氣路INNOMATEC壓力傳感器記錄下此時的壓力示值，經(jīng)過一定時間（數(shù)秒或數(shù)十秒）后，再次讀取壓力示值并和前次記錄的壓力示值進行比較。若被測容腔有泄漏，則兩次壓力示值有一個差值。此差值大小反映工件在檢測時間周期內(nèi)的泄漏狀態(tài)，差值越大表示工件泄漏越嚴重。只要此差值在允許范圍內(nèi)，即可認為被測工件合格。反之，為不合格。

2.壓差法- 差壓型氣密儀的檢測操作過程和直壓型的差別主要是利用“標準品”作為參照物在相同的過程和狀態(tài)條件下， 比較被測工件與“ 標準品” 的差異來判斷被測工件是否合格。其檢測過程如下： 首先在氣密儀標示的標準品端接上標準品（標準品可以是一個被用多種方法檢測合格并被確認為可以作為衡量其他與之相同的被測工件標準的工件或特定制品），然后同時對標準品與被測工件容腔充氣（充氣壓力、時間等參數(shù)由工藝程確定），經(jīng)過一段數(shù)秒或數(shù)十秒的平衡時間后，將標準品與工件被測容腔完全隔斷進行數(shù)秒或數(shù)十秒的壓力監(jiān)視后比較二者的壓力示值差，這個壓力差就是工件被測容腔的壓力泄漏值，若其值在允許范圍內(nèi)則認為被測品合格，否則判為不合格。

3.大流量傳感器流量檢測法-流量式檢漏儀工作原理是向被檢工件內(nèi)不間歇充入一定壓力氣體，以質量流量計或體積流量計感測充入工件氣體流量的變化，以此來判定工件泄漏量是否在工藝要求合格范圍內(nèi)。流量法的特點是測量信號與被測容積的大小無關，測量信號直接反映氣體泄漏量。若感測元件是差壓流量計則為差壓流量法，其檢漏儀為差壓流量檢漏儀；若是質量流量計則為質量流量法，其檢漏儀為質量流量檢漏儀。通常采用質量流量法。對于泄漏速率小于8.3立方厘米/秒的零件，一般不采用這種檢測方法。

4.背壓流量檢測法-這種流量檢測法是使用壓力傳感器測量由于被測零件對氣體的約束所造成的背壓。傳感器連接在通往被測零件的氣路上。有時使用變量限流閥，通過限制調(diào)節(jié)器的流量增加檢測儀的分辨率。

5.壓力/真空腔測量檢測-這種檢測方法需要使用氣密性空腔，在檢測過程中將被測零件封在其中。安裝壓力傳感器，測量腔內(nèi)的壓力。然后對零件或空腔充壓。系統(tǒng)測量腔內(nèi)壓力是否變化。檢測用的氣源始終是已知的固定量氣體。這項技術特別適用于密封的、無法直接沖壓或排氣的零件。

6.氦氣泄漏檢測-在其他對泄漏檢測精度要求低于0.001 立方厘米/秒的行業(yè)中，氦氣質量光譜分析檢測方法被廣泛應用。在大多數(shù)的設備的樣機應用中，精度的要求是不必要的，它們更關注于檢測時間與成本。在氦氣質量檢測方法中，被檢測設備用氦氣加壓，質量流量由檢測室的質量光譜采樣分析儀檢測出來。這種方法的設備成本、維護與氦氣成本，相對于沒必要對低于103 SCCS 的泄漏速度進行監(jiān)測的應用更加昂貴，因此，該方法僅僅被典型地應用在要求最苛刻的設備的泄漏檢測中。

三、超鉅氫氣檢漏法

與上述6種檢漏方法相比較，超鉅氫氣檢漏法是一種用5%的氫氣和95%的氮氣的混合氣作為示蹤氣體進行檢漏，稱作氫氮混合氣檢漏法，或氫氣檢漏法。5%氫氣與95%氮氣的混合氣體是不可燃的（ISO10156國際標準），無毒性和腐蝕性，也不會對設備和環(huán)境產(chǎn)生不利影響。氫氣作為檢漏使用的示蹤元素，有著很多獨一無二的優(yōu)點。

無論是在漏點定位還是在泄漏測試應用，這種檢漏方法已經(jīng)在各個行業(yè)領域內(nèi)得到了廣泛使用。與氦氣相比，使用低密度的安全氫氣作為檢漏用的示蹤氣體具有很多優(yōu)勢。其價格非常低廉，很容易在各個氣體供應商處購得。我們的氫氮混合氣檢漏技術可以檢出低至5*10-7mbar/s的泄漏，相當于0.1g/y。其氣體使用成本僅是氦氣的1/10到1/20，同時氦氣檢漏法要增加一些輔助設備，如氦氣回收系統(tǒng)等

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