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關(guān)鍵詞：無損檢漏 無損檢漏設備 無損檢漏儀 元器件無損檢漏方案

  半導體器件的氣密性是高可靠產(chǎn)品質(zhì)量控制的基本保證。在失效器件中,泄漏往往是導致器件失效,乃至整機失效的主要原因之一。隨著人們對整機壽命要求的不斷提高,整機的核心—半導體器件的可靠性是非常關(guān)鍵的因素,尤其是在高可靠和應用環(huán)境較為惡劣(比如高溫、高濕、溫差變化大、海上的鹽霧條件等)的儀器設備中,就必須采用氣密性封裝。由此出現(xiàn)了器件氣密性檢測方法,二十世紀四、五十年代就已經(jīng)有各種不同的方法廣泛用于產(chǎn)品生產(chǎn)中的在線質(zhì)量控制,有些方法由于安全、效率等原因后來被淘汰了。常用的器件檢漏方法有氦質(zhì)譜法、碳一氟化合物氣泡法、鹵素法、放射性同位素法、染料浸透法。

  用于器件氣密性檢測的方法、標準、儀器設備已經(jīng)比較成熟,它們各自的發(fā)展趨勢也多有展望,值得注意的問題是,在對高可靠性器件進行氣密性檢測實踐中,如何安全、可靠且準確無誤地對其氣密性進行檢測?采取什么方法才能避免或盡可能地減小對器件泄漏與否以及漏率大小的誤判,是產(chǎn)品在線質(zhì)量控制中非常重要的問題。

  對于器件的無損(即對被測試器件不構(gòu)成任何損傷或潛在的損害)檢漏,以氦質(zhì)譜法和氣泡法(以碳氟化合物為佳)應用的最為廣泛,也是最穩(wěn)定和安全,檢測人員也尋找到有許多很好的提高檢測效率的方法。

  為了分別出器件的泄漏是可容許的微漏,還是器件不允許有的大漏,同時也是為了漏率判據(jù)附近的微漏孔不被堵塞,回避誤判的正確方法程序應是:先細檢漏,后粗檢漏,一旦經(jīng)粗檢漏后的器件,在未經(jīng)過恢復漏孔處理時,不允許再作細檢漏,否則失去細檢漏的作用。

  近年來，一種全新氮氫檢漏法逐漸在各個行業(yè)得到了廣泛的應用。一種由杭州超鉅科技研發(fā)的ATH-3000氫氣檢漏儀是一種新型無損檢漏儀，全新氫氣檢漏法具有高精度、低成本、無損、檢測效率高等特點，如果您對超鉅ATH-3000檢漏儀感興趣，請點擊我們的在線客服，或致電：400-0982-558，超鉅（無損檢漏儀設備定制）竭誠為您服務。