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關(guān)鍵詞：無(wú)損檢漏 無(wú)損檢漏設(shè)備 無(wú)損檢漏儀 元器件無(wú)損檢漏方案

  半導(dǎo)體器件的氣密性是高可靠產(chǎn)品質(zhì)量控制的基本保證。在失效器件中,泄漏往往是導(dǎo)致器件失效,乃至整機(jī)失效的主要原因之一。隨著人們對(duì)整機(jī)壽命要求的不斷提高,整機(jī)的核心—半導(dǎo)體器件的可靠性是非常關(guān)鍵的因素,尤其是在高可靠和應(yīng)用環(huán)境較為惡劣(比如高溫、高濕、溫差變化大、海上的鹽霧條件等)的儀器設(shè)備中,就必須采用氣密性封裝。由此出現(xiàn)了器件氣密性檢測(cè)方法,二十世紀(jì)四、五十年代就已經(jīng)有各種不同的方法廣泛用于產(chǎn)品生產(chǎn)中的在線質(zhì)量控制,有些方法由于安全、效率等原因后來(lái)被淘汰了。常用的器件檢漏方法有氦質(zhì)譜法、碳一氟化合物氣泡法、鹵素法、放射性同位素法、染料浸透法。

  用于器件氣密性檢測(cè)的方法、標(biāo)準(zhǔn)、儀器設(shè)備已經(jīng)比較成熟,它們各自的發(fā)展趨勢(shì)也多有展望,值得注意的問(wèn)題是,在對(duì)高可靠性器件進(jìn)行氣密性檢測(cè)實(shí)踐中,如何安全、可靠且準(zhǔn)確無(wú)誤地對(duì)其氣密性進(jìn)行檢測(cè)?采取什么方法才能避免或盡可能地減小對(duì)器件泄漏與否以及漏率大小的誤判,是產(chǎn)品在線質(zhì)量控制中非常重要的問(wèn)題。

  對(duì)于器件的無(wú)損(即對(duì)被測(cè)試器件不構(gòu)成任何損傷或潛在的損害)檢漏,以氦質(zhì)譜法和氣泡法(以碳氟化合物為佳)應(yīng)用的最為廣泛,也是最穩(wěn)定和安全,檢測(cè)人員也尋找到有許多很好的提高檢測(cè)效率的方法。

  為了分別出器件的泄漏是可容許的微漏,還是器件不允許有的大漏,同時(shí)也是為了漏率判據(jù)附近的微漏孔不被堵塞,回避誤判的正確方法程序應(yīng)是:先細(xì)檢漏,后粗檢漏,一旦經(jīng)粗檢漏后的器件,在未經(jīng)過(guò)恢復(fù)漏孔處理時(shí),不允許再作細(xì)檢漏,否則失去細(xì)檢漏的作用。

  近年來(lái)，一種全新氮?dú)錂z漏法逐漸在各個(gè)行業(yè)得到了廣泛的應(yīng)用。一種由杭州超鉅科技研發(fā)的ATH-3000氫氣檢漏儀是一種新型無(wú)損檢漏儀，全新氫氣檢漏法具有高精度、低成本、無(wú)損、檢測(cè)效率高等特點(diǎn)，如果您對(duì)超鉅ATH-3000檢漏儀感興趣，請(qǐng)點(diǎn)擊我們的在線客服，或致電：400-0982-558，超鉅（無(wú)損檢漏儀設(shè)備定制）竭誠(chéng)為您服務(wù)。