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關(guān)鍵詞：真空泵檢漏，真空泵檢漏設(shè)備，氫氣檢漏儀

   真空泵是我國真空工藝過程中不可缺少的泵種類之一，隨著經(jīng)濟(jì)快速可持續(xù)發(fā)展，真空泵的應(yīng)用范圍越來越廣泛。真空泵在出廠之前，生產(chǎn)廠家都會對其進(jìn)行檢漏工作，如何進(jìn)行高效真空泵檢漏是目前存在的問題之一。

   真空泵是一種利用化學(xué)或者物理的方法對容器進(jìn)行抽氣從而達(dá)到真空狀態(tài)的設(shè)備。換而言之，真空泵是利用某種方法使密閉空間達(dá)到真空的狀態(tài)。

   真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，使室內(nèi)的氣體壓力降低，達(dá)到真空的狀態(tài)。由于真空的范圍很廣泛，至今還沒有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個范圍。因此，為達(dá)到不同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備工作壽命要求，真空系統(tǒng)的配置也各不相同。

   若真空泵發(fā)生泄漏，無論是哪種配置的儀器都無法正常使用。為了確保真空泵擁有良好的氣密性，生產(chǎn)廠家需要一種高效的真空泵檢漏方法。常用的方法是將真空抽至10^-3Pa級，然后在可疑的位置噴灑少量的酒精，通過真空計(jì)數(shù)值的變化判斷有無泄漏，此種方法檢漏精度低，而且無法精準(zhǔn)檢漏。而超鉅研發(fā)的ATH-3000P氫氣檢漏儀檢漏精度高，檢測限低至5*10-7 MBAR L/S，可以精準(zhǔn)定位，不放過任何微小漏孔。由于氫氣檢漏儀的優(yōu)勢眾多，已深受眾多真空泵生產(chǎn)廠家的喜愛。

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