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關(guān)鍵詞：真空系統(tǒng)檢漏儀 真空系統(tǒng)檢漏 真空檢漏方法

  真空系統(tǒng)的零泄漏是不存在的,但是泄漏可以分為實(shí)漏與虛漏。真空系統(tǒng)的漏氣稱為實(shí)漏,實(shí)漏是指大氣通過真空系統(tǒng)中的各個(gè)密封連接處和焊縫進(jìn)入真空系統(tǒng)的漏氣流量,因此確定的真空裝置,漏氣流量是個(gè)常數(shù)。對(duì)于微車空調(diào)管路系統(tǒng)的密封性能而言,即要求盡量降低密封連接處和;縫的漏氣量,以確保密封的可靠性。

  虛漏是指相對(duì)于實(shí)漏而言的物理現(xiàn)象,是一種不可避免的普遍現(xiàn)象。虛漏通常是指材料表面的放氣、氣體通過容器壁向系統(tǒng)內(nèi)的滲透、各種材料的蒸汽,以及系統(tǒng)內(nèi)的死空間內(nèi)的氣體流出等原因而引起的壓力升高的現(xiàn)象。其泄漏源具體包括以下方面:

  ①、材料放氣是相對(duì)于材料吸氣而言的一種現(xiàn)象。當(dāng)真空系統(tǒng)被抽成真空狀態(tài),容器構(gòu)件的各種材料暴露于真空之下,便會(huì)將原來在大氣壓下所吸收和吸附的氣體解析出來,這部分氣體來源稱之為放氣。材料放氣是構(gòu)成真空系統(tǒng)虛漏量的主要方面,材料在正常大氣壓下吸附的氣體量由材料本身的屬性所決定。金屬材料的常溫放氣源主要是自表面氧化膜所吸收的水汽,經(jīng)烘烤加熱后,其表面氧化膜中的水汽可以基本去除,使其常溫放氣速率顯著降低。表面吸附的氣體除去后的放氣過程由體內(nèi)擴(kuò)散決定。

  ②、容器壁滲透的氣流量是指大氣通過容器壁結(jié)構(gòu)材料擴(kuò)散到容器中的氣體流量。滲透現(xiàn)象對(duì)材料的屬性具有一定的選擇性,即對(duì)部分材料的滲透現(xiàn)象表現(xiàn)得比較明顯,而對(duì)另外的材料而言,其滲透氣流量基本可以忽略不計(jì);同時(shí)其滲透的氣流量還與溫度、氣體的壓強(qiáng)有關(guān),在材料種類、溫度和氣體壓強(qiáng)確定時(shí),滲透氣流量是個(gè)定值,可以忽略不計(jì)。

  ③、影響真空泄漏的另一個(gè)方面就是液體或固體蒸發(fā)的氣體流量。隨著抽真空的進(jìn)行,空氣中水分或工藝中殘留的液休不斷地蒸發(fā)為氣體;而在高真空條件下,固體也有一定的飽和蒸氣壓,尤其是在高溫裝置中。蒸發(fā)的氣流量與溫度的關(guān)系很大,當(dāng)溫度一定時(shí),材料的飽和蒸氣壓也隨之確定的,因而蒸發(fā)的氣流量也是定值。

  作為一個(gè)真空系統(tǒng)而言(包括極高真空設(shè)備),都存在著氣體通過器壁、微孔從高壓力區(qū)向低壓力區(qū)滲透的現(xiàn)象,絕對(duì)不漏的真空設(shè)備是不存在的,只能從真空設(shè)備的材料選擇以及工藝等方面進(jìn)行改善。由于虛漏源都是自然存在的物理現(xiàn)象,并不是真空設(shè)備本身密封失效而引起,因此在泄漏檢查中應(yīng)該盡可能排除虛漏對(duì)總體泄漏量的影響。

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