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關鍵詞：真空檢漏儀 真空系統(tǒng)檢漏 真空檢漏儀設備 

  一、概述

  一個真空系統(tǒng)（真空系統(tǒng)檢漏）， 經相當長時間抽氣之后， 仍然達不到預期的真空度，可能的原因有： 抽氣情況不良， 即抽氣系統(tǒng)本身的問題，如真空泵工作不正常， 或者閥門等有故障。 放氣， 即真空系統(tǒng)或容器內部存在氣體或氣源， 主要是由于真空清潔不良、材料不干燥或材料選擇不當。 漏氣， 即真空系統(tǒng)或被抽容器存在漏孔或縫隙。 這主要是真空系統(tǒng)連接不良，焊接處出現(xiàn)虛焊、裂縫所致。

  對于抽氣系統(tǒng)的問題， 主要找出真空泵工作不良的原因加以排除即可。 關于材料放氣問題，主要是在設計時，首先要考慮選擇合適的材料和結構，然后是搞好真空衛(wèi)生，使系統(tǒng)內表面保持清潔、干燥，必要時還要在真空條件下加熱烘烤去氣， 以加速去氣過程的進行。至于漏氣是檢漏技術所要解決的問題，即準確檢出漏孔并加以修補。常規(guī)檢漏內容包括：用適當?shù)姆椒ㄅ袛嗾婵障到y(tǒng)中漏氣問題是否存在。 確定漏氣率。 找出泄漏部位，以便修補堵漏。

  二、真空系統(tǒng)檢漏方法

  由于真空系統(tǒng)的多樣性，因此檢漏方法也各式各樣，專業(yè)廠家也設計制造了許多專門用于檢漏的儀器 （ 檢漏儀）。常用的檢漏方法有加壓檢漏法、氣壓法、水壓法、氦質譜法等，此外還有一種全新的氫氣檢漏法（真空系統(tǒng)檢漏專家）。

  對檢漏方法的一般要求

 （ 1）檢漏靈敏度高，可以檢出很小的漏孔；

 （ 2）反應時間短，可以提高工作效率；

 （ 3）能定位、定量，即不僅能夠找出漏孔的位置，還能確定漏率的大小，以便確定是否合乎質量要求；

 （ 4）能無損檢漏，不使被檢設備受到損壞和污染；

 （ 5）穩(wěn)定性好，即保證足夠長時間內靈敏度穩(wěn)定可靠；

 （ 6）所用 “ 示漏氣體”在空氣中含量低、無毒、不腐蝕零件；

 （ 7）檢漏范圍大， 從大漏孔到小漏孔都能檢測， 以減少檢漏設備的數(shù)量和費用；

 （ 8）檢漏時應潔凈無油，滿足一些特殊要求。

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