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關(guān)鍵詞：氦質(zhì)譜檢漏儀 氦質(zhì)譜檢漏設(shè)備 氫氣檢漏儀

  氦質(zhì)譜檢漏儀（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）為氣體工業(yè)名詞術(shù)語(yǔ)，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過(guò)漏孔并易擴(kuò)散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到僅對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

  氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù)，由于檢漏效率高，簡(jiǎn)便易操作，儀器反應(yīng)靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應(yīng)用。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來(lái)的電子，在室內(nèi)來(lái)回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場(chǎng)作用下進(jìn)人磁場(chǎng)，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過(guò)磁場(chǎng)和接收縫到達(dá)接收極而被檢測(cè)。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中最常用的兩種方法。

  隨著氣密性檢測(cè)手段的不斷發(fā)展，國(guó)外一些公司開(kāi)始使用性?xún)r(jià)比更高的氫氣檢漏儀進(jìn)行檢漏，氫氣檢漏法具有高精度，氫氣檢漏儀的可檢漏率低至5*10-7mbarl/s，相當(dāng)于0.1克/年，和氦質(zhì)譜吸槍法的精度相同。并且具有以下幾個(gè)特點(diǎn)：

  ATH-3000氫氣檢漏儀用5%的氫氣和95%的氮?dú)獾幕旌蠚庾鳛槭聚櫄怏w進(jìn)行檢漏，是當(dāng)今國(guó)際上最先進(jìn)的干式無(wú)損檢漏方法之一，無(wú)論是在漏點(diǎn)定位還是在泄漏測(cè)試應(yīng)用，都具有獨(dú)一無(wú)二的優(yōu)勢(shì)，特別是氫氣檢漏儀的低成本、免維護(hù)、高精度，無(wú)疑給廣大企業(yè)帶來(lái)了精密檢漏的技術(shù)革新。 

  ATH-3000氫氣檢漏儀.可廣泛應(yīng)用于空調(diào)制冷領(lǐng)域、汽車(chē)散熱器、汽車(chē)氣缸、換熱器、泵閥領(lǐng)域等，它具有以下優(yōu)點(diǎn)：

  1、精度高。氫氣檢漏儀的可檢漏率低至5*10-7mbarl/s，相當(dāng)于0.1克/年，和氦質(zhì)譜吸槍法的精度相同。

  2、安全性好。5%氫氣和95%氮?dú)獾幕旌蠚怏w是符合國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的安全不可燃?xì)怏w，無(wú)毒性和腐蝕性，綠色環(huán)保，不會(huì)對(duì)設(shè)備和環(huán)境產(chǎn)生不利的影響。

  3、適用性廣。氫氣檢漏和氦氣檢漏、鹵素檢漏以及水泡法或者壓降法檢漏的原理是相似的，只是注入的氣體不同。這幾種檢漏方法轉(zhuǎn)換為氫氣檢漏非常方便，只需要改變氣源，用氫氣檢漏儀進(jìn)行檢漏就可以了。

  4、響應(yīng)速度快。氫氣檢漏儀的分析元件在探棒部分，不像氦氣檢漏儀那樣需要將氣體通過(guò)管道吸入到質(zhì)譜室進(jìn)行分析，氫氣檢漏儀的響應(yīng)很快，在0.5~1s就會(huì)有響應(yīng)。

  5、小巧便攜，方便移動(dòng)。氫氣檢漏儀的體積小、重量輕。

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